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半導(dǎo)體芯片退火模溫機
半導(dǎo)體芯片退火模溫機 價格：28600  元(人民幣) 產(chǎn)地：江蘇昆山市
最少起訂量：1臺 發(fā)貨地：本地至全國
上架時間：2025-08-20 14:53:04 瀏覽量：94
邁浦特機械（四川）有限公司  
經(jīng)營模式：生產(chǎn)加工 公司類型：
所屬行業(yè)：制冷設(shè)備 主要客戶：
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:趙元圓（邁浦特機械） (小姐) 手機:18108129082
電話: 傳真:
郵箱:zhaoyuanyuan@maipt.ltd 地址:中國(四川）自由貿(mào)易試驗區(qū)成都高新區(qū)天府大道北段1700號N3區(qū)21樓2125邁浦特機械

詳細介紹

半導(dǎo)體芯片退火模溫機

郵：zhaoyuanyuan@maipt.ltd
支持非標定制，免費提供技術(shù)規(guī)格書、方案。
聯(lián)系：①⑧①零⑧①②⑨零⑧②

用途特點

專為半導(dǎo)體芯片退火工藝設(shè)計，控溫范圍覆蓋 45℃~180℃（其他溫度可定制），可精準匹配芯片退火過程中升溫、恒溫、降溫各階段的溫度需求。通過穩(wěn)定控制退火爐模具溫度，確保芯片在高溫下實現(xiàn)晶格重組與應(yīng)力釋放，避免因溫度不均導(dǎo)致的芯片開裂、電學(xué)性能異常等缺陷，提升芯片良率與可靠性，適配硅基芯片、化合物半導(dǎo)體等的退火處理場景。

核心優(yōu)勢

高精度溫控保障退火質(zhì)量

采用邁浦特定制 PLC 控制系統(tǒng)，9 組獨立 PID 溫區(qū)段控溫，基礎(chǔ)精度達 ±1℃（±0.1℃可選），支持進出口溫度相互切換控制？筛鶕(jù)退火工藝要求調(diào)節(jié)控溫速率（斜率 / 快速），精準控制升溫速率（如 5℃/min~20℃/min）與恒溫時長，確保芯片在 100℃~150℃關(guān)鍵退火區(qū)間的溫度穩(wěn)定性。

高效加熱與循環(huán)能力

加熱功率 6~720kW 可調(diào)，采用直接加熱方式，搭配邁浦特定制耐溫油泵（耐溫 - 40℃~320℃），流量 6.5~250m?/h，揚程 28~100m，確保導(dǎo)熱油在高溫下循環(huán)高效，快速響應(yīng)退火爐的瞬時溫度需求。全系統(tǒng)管路采用無縫氬弧焊接工藝，減少熱量損耗與泄漏風(fēng)險，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)潔凈要求。

多重安全防護與智能操作

配備溫度異常自動斷電、泵浦超載保護、缺油報警、管路阻塞泄壓等 10 重安全裝置，高溫球閥耐溫達 230℃，通過 BY-PASS 泄壓回路保護泵浦。支持 100 組可編程工藝程序，7 寸觸摸屏實時顯示溫度曲線，數(shù)據(jù)可通過 USB 導(dǎo)出，便于追溯退火工藝參數(shù)。進出管徑可根據(jù)退火爐接口定制，適配不同生產(chǎn)規(guī)模需求。

技術(shù)參數(shù)（典型機型）

名稱 參數(shù)
控溫范圍     45℃~180℃
控溫精度     PID ±1℃（±0.1℃可選）
加熱功率     6~720kW
循環(huán)介質(zhì)     導(dǎo)熱油
通訊方式     Modbus RS485（可定制其他協(xié)議）
電源     3N-380V-50Hz（可定制）

適配場景

適用于半導(dǎo)體芯片的快速熱退火（RTA）、爐管退火等工藝，可通過預(yù)設(shè)不同芯片材質(zhì)的退火溫度曲線（如硅片退火、氮化鎵芯片退火），提升生產(chǎn)效率與產(chǎn)品一致性。設(shè)備膨脹箱容量 25L~5000L 可選，支持遠程控制、流量監(jiān)測等特殊功能擴展，且享有 1 年免費保修服務(wù)，為半導(dǎo)體芯片退火工藝提供專業(yè)溫控支持。

半導(dǎo)體芯片退火模溫機技術(shù)規(guī)格書示例


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